🔬EEL7120 - Introdução à Microeletrônica

Curso: Engenharia Eletrônica - Universidade Federal de Santa Catarina (UFSC), Florianópolis, SC, Brasil

Ementa: Litografia; oxidação térmica do silício; difusão; implantação iônica; deposição de filmes; interconexões e contatos; encapsulamento e yield; dispositivos semicondutores; processos de fabricação MOS e bipolar; processos de fabricação de MEMS.

Horas-Aula: 72

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Referências:

• Site LAMATE UFSC